检测信息（部分）
三维线纹检测主要针对哪些产品？
该检测适用于各类精密机械零部件、光学元件、微电子器件及模具表面的微观几何特征测量。
检测的核心应用领域有哪些？
广泛应用于航空航天发动机叶片检测、半导体光刻掩膜版校准、精密轴承沟道测量和生物医疗植入体表面分析等领域。
检测能达到的精度范围？
可实现亚微米级（0.1μm-1μm）的线宽测量精度，最高分辨率可达纳米级别。
检测依据的标准体系？
遵循ISO 25178表面形貌标准、ASME B89.3.1尺寸测量规范及GB/T 10610产品几何技术规范。
检测项目（部分）
- 线宽偏差：实际线宽与设计值的差异量
- 边缘粗糙度：线纹边界的不规则起伏程度
- 间距均匀性：相邻线纹中心距的波动范围
- 角度偏移量：线纹方向与基准轴的夹角误差
- 深度一致性：三维线槽深度分布的均匀程度
- 曲率半径：线纹转折处的弯曲半径精度
- 对称度偏差：双侧线纹结构的镜像对称特性
- 峰值高度：线纹剖面最高点的相对位置
- 谷值深度：线纹剖面最低点的相对位置
- 波纹度：介于粗糙度与轮廓度之间的中频成分
- 斜率变化率：线纹侧壁倾角的变化梯度
- 位置度公差：线纹实际位置与理论位置的偏移
- 形状畸变：线纹宏观几何形态的变形量
- 塌边量：线纹边缘材料塌陷的垂直距离
- 毛刺高度：加工残留凸起物的垂直尺寸
- 重复定位精度：同批次线纹的位置再现性
- 正交性误差：交叉线纹的垂直度偏差值
- 面形误差：承载线纹的基底平面度偏差
- 周期波动：规则线纹的重复性周期变异
- 锥度偏差：深度方向上线宽的变化梯度
检测范围（部分）
- 光栅尺计量器具
- 集成电路掩膜版
- 精密刻度盘
- 光学衍射元件
- 微流控芯片沟道
- 涡轮叶片冷却孔
- 液压阀体油路
- 轴承滚道
- 模具咬花面
- 金属蚀刻网版
- 医疗器械导槽
- 喷墨打印机喷嘴
- 光纤连接器端面
- 钟表齿轮
- 刀具刃口
- 太阳能电池栅线
- 微机电系统结构
- 量规塞规
- 光学编码器
- 精密导轨
检测仪器（部分）
- 激光共聚焦显微镜
- 白光干涉仪
- 原子力显微镜
- 接触式轮廓仪
- 影像测量仪
- 三维光学扫描仪
- 电子隧道显微镜
- 激光跟踪仪
- 纳米坐标测量机
- 全自动闪测仪