检测范围
- 氦气低温泵
- 氢气低温泵
- 水蒸气低温泵
- 大口径低温泵
- 小型低温泵
- 微型低温冷凝泵
- 集成式低温泵
- 分体式低温泵
- 气氦冷却低温泵
- 液氦冷却低温泵
- 液氮冷却低温泵
- 无油低温真空泵
- 高真空低温泵
- 超高真空低温泵
- 导流型低温泵
- 吸附阵低温泵
- 多级低温泵
- 单级低温泵
- 航天用低温泵
- 半导体用低温泵
- 直立式低温泵
- 卧式低温泵
检测标准（部分）
- JB/T 11081-2011 真空技术 制冷机低温泵
- SJ/T 11259-2001 制冷机低温泵总规范
- SHS 03045-1992 低温泵维护检修规程
- UNE-EN 13275:2001 Cryogenic vessels. Pumps for cryogenic service.
- T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范
- JB/T 53290-1999 低温泵 产品质量分等(内部使用)
- JB/T 13977-2020 液化天然气（LNG）低温潜液泵
- JB/T 9076-2016 往复式低温液体泵 技术条件
- CGA P-48 Reciprocating Cryogenic Pumps and Pump Installations for Oxygen, Argon, and Nitrogen
- JB/T 9073-2016 空气分离设备用离心式低温液体泵
- SHS 03045-2004 低温立式多级泵维护检修规程
- ISO 24490:2025 Cryogenic vessels — Centrifugal pumps for cryogenic service
- DIN EN ISO 24490:2026-04 Cryogenic vessels - Centrifugal pumps for cryogenic service (ISO 24490:2025)
- KS B ISO 24490-2017(2022) 초저온 용기－초저온 설비용 펌프
- KS B ISO 24490(2022 Confirm)(2022) 초저온 용기－초저온 설비용 펌프
- KS B ISO 24490-2017 초저온 용기－초저온 설비용 펌프
- BS EN ISO 24490:2016 Cryogenic vessels. Pumps for cryogenic service
- EN ISO 24490:2025 Cryogenic vessels - Centrifugal pumps for cryogenic service (ISO 24490:2025)
- GB/T 10606.6-1989 空气分离设备术语 低温液体泵
- 20250074-T-604 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵
常见问题
低温泵检测需要多长时间？
通常7-15个工作日，具体周期视低温泵的型号规格及所选检测项目数量而定，大型或超低温类设备可能需要更长的测试时间。
低温泵检测费用大概多少？
根据检测项目数量确定，基础性能测试与全面型式试验的费用差异较大，需依据具体的检测方案进行核算。
低温泵检测报告有什么用途？
可用于质量评估、项目验收、产品研发改进及招投标技术证明，中析研究所检测中心旗下实验室拥有CMA、CNAS、ISO等检验检测资质，出具的数据报告具备社会公信力。
低温泵检测对样品有什么要求？
需要提供完整装配的低温泵样机，且样机应处于可正常运行状态，同时需附带配套的控制系统及相关技术图纸以便连接测试仪器。
低温泵检测项目
- 极限真空度：衡量低温泵在规定条件下能达到的很低压力值以判定基础抽气能力。
- 抽气速率：评估单位时间内低温泵所能抽除的气体体积以验证设计通流能力。
- 抽气容量：判定低温泵在再生前所能累积抽除的气体总量以评估吸附材料寿命。
- 降温时间：测试从启动到达到正常工作温度所需的时长以反映制冷机制冷效率。
- 冷板温度：测量一级冷板和二级冷板的实际表面温度以验证冷量传导与分配效果。
- 恢复时间：评估设备完成再生过程后恢复到工作真空度所需的时间以判定自动化排气回路性能。
- 交叉再生时间：测定在特定条件下进行交叉除霜所需的时间周期以检验多泵联动逻辑。
- 漏率：检测设备整体及各连接部位的密封性能以防外部气体渗入破坏真空环境。
- 振动值：监测压缩机及泵体运行时的机械振动幅度以评估装配稳定性与机械磨损情况。
- 噪声级：测量设备在满负荷运行状态下产生的声学噪声水平以符合车间环保要求。
- 电气强度：检验电气绝缘系统在施加高电压时防止击穿的能力以保障高压用电安全。
- 绝缘电阻：测定电气线路与外壳之间的绝缘性能以排查漏电隐患。
- 冷却水流量：验证压缩机冷却系统的水流量是否满足散热需求以防止主机过热停机。
- 氦气消耗量：对于液氦冷却型低温泵测量其运行过程中的液氦损耗率以评估运行成本。
- 安全阀开启压力：校验安全保护装置在超压情况下的动作灵敏度以防范腔体爆裂风险。
- 温度分布均匀性：评估冷板表面各点温度的一致性以判断冷量传导效率与结冰均匀度。
- 气体冷凝热负荷：测试低温泵在抽除特定气体时所能承受的很大热输入以界定工况极限。
- 吸附剂性能：检查活性炭等低温吸附材料的吸附容量与解吸特性以判定再生有效性。
- 控制系统响应时间：测量传感器信号反馈至执行器动作的延迟时长以验证联锁保护机制。
- 耐压性能：检验泵体外壳在承受内部异常升压时的机械强度以保障承压边界完整。
- 电磁兼容性：评估设备运行时对周围电网及电子设备的电磁干扰程度以符合实验室环境要求。
低温泵检测方法
- 静态升压法：通过关闭阀门观察泵内压力随时间的变化来计算极限真空度和漏放气速率。
- 定压法：在保持测试罩内压力恒定的条件下测量进入泵内的气体流量以计算抽气速率。
- 质谱检漏法：使用氦质谱检漏仪对低温泵的焊缝、密封圈及管路接头进行高灵敏度检漏。
- 热电偶测温法：在一级和二级冷板表面布置热电偶传感器以实时记录降温曲线和冷板温度。
- 声级计测量法：在特定背景噪声环境下使用声级计在规定距离处测量泵体运行噪声。
- 振动加速度法：利用压电式加速度传感器安装在压缩机及泵体关键部位采集振动频谱。
- 介电强度试验：在带电部件与外壳之间施加规定交流电压以验证绝缘材料的耐压能力。
- 流量计监测法：在冷却水回路中安装流量计以实时读取并校验水流量参数。
- 称重法：通过测量特定运行周期前后液氦容器的质量差来计算液氦消耗量。
- 压力表校验法：使用标准压力源对设备自带压力表及安全阀开启压力进行标定和校验。
- 热成像分析法：采用红外热像仪扫描冷板及管路表面以分析温度分布均匀性。
检测信息
低温泵是一种利用低温冷凝、低温吸附或低温捕集原理来抽除气体的真空获得设备，广泛应用于半导体制造、高能物理研究、航空航天及真空冶金等领域。
低温泵检测旨在评估设备的极限真空度、抽气速率以及冷头制冷性能等核心指标，通常涉及真空测量技术、温度传感校准及氦质谱检漏等技术手段。
检测过程涵盖外观结构检查、电气安全测试、降温特性记录、二级冷板温度监测及再生恢复时间测定等核心参数，确保设备在极端工况下的运行可靠性。
总结
低温泵检测涵盖极限真空度、抽气速率及漏率等核心指标，确保设备运行稳定性。中析研究所检测中心旗下实验室拥有CMA、CNAS、ISO等检验检测资质。报告可用于项目验收，周期通常为7-15个工作日。