检测信息（部分）
真空释气检测是针对材料在真空环境下释放气体特性进行的专项测试，主要评估材料在低压或高真空条件下的气体释放行为。该检测对于航空航天器件、真空电子设备、半导体制造装备等领域具有重要意义，可有效预防因材料释气导致的器件污染、性能下降或失效问题。
检测过程中，样品被置于特定真空度的测试腔体内，通过精密仪器监测材料表面及内部释放的气体成分与含量。测试结果可为材料选型、工艺优化及产品可靠性评估提供数据支撑。
检测仪器（部分）
- 四极杆质谱仪
- 飞行时间质谱仪
- 残余气体分析仪
- 真空计组系统
- 石英晶体微天平
- 真空烘烤炉
- 分子泵机组
- 涡轮分子泵
- 离子泵系统
- 低温泵装置
- 气相色谱仪
- 红外光谱仪
检测范围（部分）
- 航天器结构材料
- 卫星热控涂层
- 航天器隔热材料
- 真空密封胶
- 真空润滑油脂
- 电子封装材料
- 半导体制造材料
- 真空腔体内壁涂层
- 光学器件镀膜材料
- 柔性电路板基材
- 导热硅脂
- 绝缘薄膜材料
- 橡胶密封件
- 塑料结构件
- 复合材料层压板
- 胶黏剂产品
- 泡沫塑料材料
- 纤维增强材料
- 金属表面涂层
- 陶瓷基复合材料
- 真空管内部件
- 粒子加速器材料
检测标准（部分）
| 序号 | 标准号 | 标准名称 | 类别 | 发布日期 | CCS分类 | ICS分类 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GB/T 39194-2020(英文版) | 真空低压渗碳高压气淬热处理技术要求 | (CN-GB)国家标准 | 2020-10-11 | J36热处理 | |
| 2 | GB/T 34517-2017(英文版) | 航天器用非金属材料真空出气评价方法 | (CN-GB)国家标准 | 2017-11-01 | V13航空与航天用非金属材料 | |
| 3 | 20256872-T-469 | ArF光刻胶释气测量方法 | (CN-PLAN)国家标准计划 | L90电子技术专用材料 | 31.030电子技术专用材料 | |
| 4 | ISO/TS 20177:2018 | Vacuum technology — Vacuum gauges — Procedures to measure and report outgassing rates | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2018-06-12 | 23.160真空技术 | |
| 5 | DB37/T 4433-2021 | 固定污染源废气 挥发性有机物的测定 气袋真空瓶采样-气相色谱质谱法 | (CN-DB37)山东省地方标准 | 2021-11-17 | Z15大气环境有毒害物质分析方法 | 13.040.20环境空气 |
| 6 | AWWA M51 | Air Valves: Air Release, Air/Vacuum, and Combination, Second Edition | (US-AWWA)美国给水工程协会 | 2016-07-01 | ||
| 7 | SY/T 6009.4-2003 | 油气化探试样测定方法 第4部分:热释烃测定 气相色谱法 | (CN-SY)行业标准-石油 | 2003-03-18 | E11石油地质勘探 | 75.010石油及相关技术综合 |
| 8 | SJ/T 10093-1991 | 1316Ⅱ型真空去气热处理炉 | (CN-SJ)行业标准-电子 | 1991-04-08 | K61工业电热设备 | 25.200热处理 |
| 9 | DB34/T 1553-2011 | 气相二氧化硅芯材真空绝热板 | (CN-DB34)安徽省地方标准 | 2011-12-16 | Q25绝热、吸声、轻质与防火材料 | 91.100.60隔声和绝热材料 |
| 10 | AWWA C512-15 | Air Release, Air/Vacuum, and Combination Air Valves for Waterwork and Wastewater Service | (US-AWWA)美国给水工程协会 | 2015-11-01 | ||
| 11 | EN 16602-70-02:2014 | Space product assurance - Thermal vacuum outgassing test for the screening of space materials | (IX-CEN)欧洲标准化委员会 | 2014-10-08 | P00/09工程建设综合 | 49.140航天系统和操作装置 |
| 12 | AWWA C512-07 | Air Release, Air/Vacuum, and Combination Air Valves for Waterworks Service | (US-AWWA)美国给水工程协会 | 2008-05-01 | ||
| 13 | DIN EN 18015:2024-09 | Automotive fuels - Determination of hydrocarbon group types and select hydrocarbon and oxygenate compounds - Gas chromatography with vacuum ultraviolet absorption spectroscopy (GC-VUV) method | (DE-DIN)德国标准化学会 | 2024-09-01 | ||
| 14 | AWWA C512-04 | Air Release, Air/Vacuum, and Combination Air Valves for Waterworks Service | (US-AWWA)美国给水工程协会 | 2004-10-01 | ||
| 15 | AWWA C512-99 | Standard for Air Release, Air/Vacuum. And Combination Air Valves for Waterworks Services | (US-AWWA)美国给水工程协会 | 2000-02-01 | ||
| 16 | API Std 681 Datasheets | Datasheets for API Std 681, Liquid Ring Vacuum Pumps and Compressors for Petroleum, Chemical, and Gas Industry Services, Second Edition | (US-API)美国石油学会 | 2021-07-14 | ||
| 17 | ASTM D7169-23 | Standard Test Method for Boiling Point Distribution of Samples with Residues Such as Crude Oils and Atmospheric and Vacuum Residues by High Temperature Gas Chromatography | (US-ASTM)美国材料与试验协会 | 2023-07-01 | 71.040.50物理化学分析方法 | |
| 18 | DIN EN 16602-70-02:2014-02 | Space product assurance - Thermal vacuum outgassing test for the screening of space materials; English version FprEN 16602-70-02:2013 | (DE-DIN)德国标准化学会 | 2014-02-01 | 49.140航天系统和操作装置 | |
| 19 | ASTM D8519-23 | Standard Test Method for Determination of Hydrocarbon Types in Waste Plastic Process Oil Using Gas Chromatography with Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy Detection (GC-VUV) | (US-ASTM)美国材料与试验协会 | 2023-07-01 | 13.030.50回收 | |
| 20 | ASTM D8368-25 | Standard Test Method for Determination of Totals of Aromatic, Polyaromatic and Fatty Acid Methyl Esters (FAME) Content of Diesel Fuel Using Gas Chromatography with Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy Detection (GC-VUV) | (US-ASTM)美国材料与试验协会 | 2025-10-01 | 75.160.20液体燃料 |
检测项目（部分）
- 总释气量：衡量材料在真空环境下释放气体的总量
- 释气速率：单位时间内材料释放气体的速度
- 水蒸气释放量：材料释放水分的定量分析
- 有机挥发物含量：检测材料释放的有机化合物总量
- 氢气释放量：评估材料释放氢气的浓度
- 氧气释放量：测定材料释放氧气的含量
- 氮气释放量：分析材料释放氮气的水平
- 二氧化碳释放量：检测材料释放CO2的浓度
- 甲烷释放量：评估材料释放甲烷的程度
- 一氧化碳释放量：测定材料释放CO的含量
- 氨气释放量：检测材料释放氨气的浓度
- 甲醛释放量：评估材料释放甲醛的水平
- 苯系物释放量：检测苯、甲苯等芳香族化合物
- 硅烷类气体释放量：测定含硅气体的释放
- 卤素气体释放量：检测氟、氯等卤素化合物
- 颗粒物释放量：评估材料表面颗粒脱落情况
- 热释气曲线：不同温度下释气量的变化趋势
- 时间依赖性释气：释气量随时间变化的规律
- 温度依赖性释气：释气量与温度的关系分析
- 真空度依赖性释气：不同真空度下的释气特性
- 表面处理影响：不同表面状态对释气的影响
- 材料密度与释气关系：密度参数对释气行为的影响
检测方法（部分）
- ASTM E595标准测试法
- ESA PSS-01-729测试规范
- ISO 14644真空洁净度测试
- 热真空循环测试法
- 静态升压法
- 动态流量法
- 质谱扫描分析法
- 重量损失测定法
- 收集凝结法
- 气体取样分析法
- 温度程序脱附法
- 真空烘烤预处理法
总结
真空释气检测是保障高真空环境设备可靠运行的重要手段，通过系统化的测试可全面掌握材料的气体释放特性。检测结果可为材料研发、产品设计和质量控制提供科学依据，有助于提升航天器、真空电子设备等产品的使用寿命和工作稳定性。