真空释气检测

检测信息(部分)

真空释气检测是针对材料在真空环境下释放气体特性进行的专项测试,主要评估材料在低压或高真空条件下的气体释放行为。该检测对于航空航天器件、真空电子设备、半导体制造装备等领域具有重要意义,可有效预防因材料释气导致的器件污染、性能下降或失效问题。

检测过程中,样品被置于特定真空度的测试腔体内,通过精密仪器监测材料表面及内部释放的气体成分与含量。测试结果可为材料选型、工艺优化及产品可靠性评估提供数据支撑。

检测仪器(部分)

检测范围(部分)

检测标准(部分)

序号 标准号 标准名称 类别 发布日期 CCS分类 ICS分类
1 GB/T 39194-2020(英文版) 真空低压渗碳高压气淬热处理技术要求 (CN-GB)国家标准 2020-10-11 J36热处理  
2 GB/T 34517-2017(英文版) 航天器用非金属材料真空出气评价方法 (CN-GB)国家标准 2017-11-01 V13航空与航天用非金属材料  
3 20256872-T-469 ArF光刻胶释气测量方法 (CN-PLAN)国家标准计划   L90电子技术专用材料 31.030电子技术专用材料
4 ISO/TS 20177:2018 Vacuum technology — Vacuum gauges — Procedures to measure and report outgassing rates (IX-ISO)国际标准化组织 2018-06-12   23.160真空技术
5 DB37/T 4433-2021 固定污染源废气 挥发性有机物的测定 气袋真空瓶采样-气相色谱质谱法 (CN-DB37)山东省地方标准 2021-11-17 Z15大气环境有毒害物质分析方法 13.040.20环境空气
6 AWWA M51 Air Valves: Air Release, Air/Vacuum, and Combination, Second Edition (US-AWWA)美国给水工程协会 2016-07-01    
7 SY/T 6009.4-2003 油气化探试样测定方法 第4部分:热释烃测定 气相色谱法 (CN-SY)行业标准-石油 2003-03-18 E11石油地质勘探 75.010石油及相关技术综合
8 SJ/T 10093-1991 1316Ⅱ型真空去气热处理炉 (CN-SJ)行业标准-电子 1991-04-08 K61工业电热设备 25.200热处理
9 DB34/T 1553-2011 气相二氧化硅芯材真空绝热板 (CN-DB34)安徽省地方标准 2011-12-16 Q25绝热、吸声、轻质与防火材料 91.100.60隔声和绝热材料
10 AWWA C512-15 Air Release, Air/Vacuum, and Combination Air Valves for Waterwork and Wastewater Service (US-AWWA)美国给水工程协会 2015-11-01    
11 EN 16602-70-02:2014 Space product assurance - Thermal vacuum outgassing test for the screening of space materials (IX-CEN)欧洲标准化委员会 2014-10-08 P00/09工程建设综合 49.140航天系统和操作装置
12 AWWA C512-07 Air Release, Air/Vacuum, and Combination Air Valves for Waterworks Service (US-AWWA)美国给水工程协会 2008-05-01    
13 DIN EN 18015:2024-09 Automotive fuels - Determination of hydrocarbon group types and select hydrocarbon and oxygenate compounds - Gas chromatography with vacuum ultraviolet absorption spectroscopy (GC-VUV) method (DE-DIN)德国标准化学会 2024-09-01    
14 AWWA C512-04 Air Release, Air/Vacuum, and Combination Air Valves for Waterworks Service (US-AWWA)美国给水工程协会 2004-10-01    
15 AWWA C512-99 Standard for Air Release, Air/Vacuum. And Combination Air Valves for Waterworks Services (US-AWWA)美国给水工程协会 2000-02-01    
16 API Std 681 Datasheets Datasheets for API Std 681, Liquid Ring Vacuum Pumps and Compressors for Petroleum, Chemical, and Gas Industry Services, Second Edition (US-API)美国石油学会 2021-07-14    
17 ASTM D7169-23 Standard Test Method for Boiling Point Distribution of Samples with Residues Such as Crude Oils and Atmospheric and Vacuum Residues by High Temperature Gas Chromatography (US-ASTM)美国材料与试验协会 2023-07-01   71.040.50物理化学分析方法
18 DIN EN 16602-70-02:2014-02 Space product assurance - Thermal vacuum outgassing test for the screening of space materials; English version FprEN 16602-70-02:2013 (DE-DIN)德国标准化学会 2014-02-01   49.140航天系统和操作装置
19 ASTM D8519-23 Standard Test Method for Determination of Hydrocarbon Types in Waste Plastic Process Oil Using Gas Chromatography with Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy Detection (GC-VUV) (US-ASTM)美国材料与试验协会 2023-07-01   13.030.50回收
20 ASTM D8368-25 Standard Test Method for Determination of Totals of Aromatic, Polyaromatic and Fatty Acid Methyl Esters (FAME) Content of Diesel Fuel Using Gas Chromatography with Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy Detection (GC-VUV) (US-ASTM)美国材料与试验协会 2025-10-01   75.160.20液体燃料

检测项目(部分)

检测方法(部分)

总结

真空释气检测是保障高真空环境设备可靠运行的重要手段,通过系统化的测试可全面掌握材料的气体释放特性。检测结果可为材料研发、产品设计和质量控制提供科学依据,有助于提升航天器、真空电子设备等产品的使用寿命和工作稳定性。

检测资质(部分)

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