检测信息（部分）
检测项目（部分）
- 平面度：表征表面所有点与理想平面的最大偏移量
- 波纹度：周期性中频表面起伏的波长分析
- 局部凹陷：微观凹陷区域的深度与面积量化
- 曲率半径：曲面轮廓的弧度特征参数
- 台阶高度：不同平面层级间的垂直落差
- 线轮廓度：指定截面轮廓与设计曲线的吻合度
- 面轮廓度：三维表面与理论模型的整体偏差
- 峰值高度：表面最高凸起点相对基准位置
- 谷值深度：表面最低凹陷点相对基准位置
- 倾斜角度：表面相对于坐标系的偏转角度
- 翘曲度：薄型部件受应力导致的形变程度
- 平行度：两表面间保持等距的程度
- 粗糙度：微观纹理的算术平均高度值
- FFT频谱：表面起伏特征的频域分解
- 斜率偏差：曲面各点切面角度的变化量
- 等高线分布：表面高度值的梯度分布特征
- 塌边量：边缘区域相对于中心的沉降量
- 扭曲度：表面发生的螺旋状变形程度
- 中凸/中凹量：中心区域系统性偏移量
- 装配贴合度：接触面与配合件的间隙预测
检测范围（部分）
- 精密导轨
- 光学反射镜
- 晶圆衬底
- 光伏硅片
- LCD/OLED面板
- 轴承滚道
- 涡轮叶片
- 模具型腔
- 密封端盖
- 液压阀板
- 航空航天蒙皮
- 汽车车身覆盖件
- 半导体封装基板
- 机械密封环
- 光学透镜
- 金属轧辊
- PCB电路板
- 陶瓷基片
- 精密垫片
- 人工关节植入体
检测仪器（部分）
- 激光平面干涉仪
- 白光共焦扫描仪
- 三坐标测量机
- 电子水平仪
- 激光跟踪仪
- 数字全息显微镜
- 光学轮廓仪
- 激光位移传感器阵列
- 接触式轮廓仪
- 工业级激光雷达