检测信息（部分）
检测项目（部分）
- 线纹间距精度
- 对称轴偏移量
- 周期重复性误差
- 线宽均匀性
- 边缘清晰度
- 峰谷高度差
- 角度偏离度
- 平行度公差
- 纹路对比度
- 反射均匀性
- 微观形貌一致性
- 衍射效率
- 相位对称性
- 畸变容忍度
- 纹路深度偏差
- 基底平整度
- 材料膨胀系数
- 环境稳定性
- 光学衍射角
- 耐磨强度系数
检测范围（部分）
- 光栅尺
- 衍射光学元件
- 精密刻度盘
- 防伪金属线
- 计量标准器
- 光学编码器
- 微结构导光板
- 纳米压印模板
- 全息衍射膜
- 精密丝网
- 晶圆对准标记
- 计量光栅
- 激光干涉仪组件
- 菲涅尔透镜
- 微流控芯片
- 光掩模版
- 衍射波带片
- 精密齿轮齿条
- 光学尺规
- 微孔阵列板
检测仪器（部分）
- 激光干涉仪
- 白光干涉轮廓仪
- 原子力显微镜
- 共聚焦显微镜
- 光学比较仪
- 精密投影仪
- 衍射效率测试仪
- 纳米三维测量系统
- 电子扫描显微镜
- 光谱椭偏仪
检测资质（部分）
